真空渗碳一般过程是:零件清洗一零件装料、进炉—抽真空—升温及均热——渗碳与扩散一热处理。

（1）渗碳剂：常用丙烷、甲烷、乙炔气，或天然气等做渗碳剂，纯度(体积分数)大于96%。为防止产生炭黑适当通人稀释气体(如N2、H2等)。

（2）渗碳气流量与渗碳压力：渗碳气的流量以能使炉内压力的增加为133.33Pa/s为宜。在用甲烷作渗碳气，炉压控制在26.6~45kPa。以丙烷作渗碳气，炉压为13.3~23kPa。渗碳气压力越高，渗碳越快，渗碳层越均匀。但往往产生炭黑也多。在保证渗碳层均匀前提下，尽量选用低的渗碳压力，以减少炭黑的产生。如采用脉冲式通气渗碳时，炉气压力控制在20kPa左右，可不开风扇搅拌。

（3）渗碳温度：渗碳温度对渗碳速度的影响最为明显，温度越高，扩散系数越大，渗速越快。如碳在铁中的扩散系数，当温度自925℃升至1100℃时，会增加七倍以上。真空渗碳时碳在r-Fe中扩散激活能Q为24kcal/mol,

而气体渗碳Q为36kcal/mol,所以真空渗碳过程比气体渗碳过程要快。一般渗碳温度在920~1080℃之间。

（4）渗碳时间：渗碳时间根据渗碳温度和渗碳层深度要求确定。